1. ซีลเฟอร์โรฟลูอิดิก (เหมาะสำหรับสุญญากาศสูง)
การใช้งานทั่วไป:
ระบบสุญญากาศสูง- เช่น การเชื่อมด้วยลำอิเล็กตรอนและการเชื่อมสุญญากาศที่มีความแม่นยำ
ลักษณะเฉพาะ:
รองรับทั้งการเคลื่อนที่แบบหมุนและเชิงเส้น
อัตราการรั่วไหลต่ำมาก เหมาะสำหรับระบบที่ใช้ปั๊มกระจาย
อายุการใช้งานยาวนานด้วยแรงเสียดทานต่ำและการสร้างอนุภาคน้อยที่สุด
ข้อจำกัด:
ไม่เหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง-
อ่อนไหวต่อฝุ่นหรือเศษโลหะซึ่งอาจส่งผลต่อประสิทธิภาพการซีล
2. ซีลเบลโลว์ (สำหรับการเคลื่อนที่เชิงเส้นเท่านั้น)
การใช้งานทั่วไป:
คานเชื่อมที่เคลื่อนที่เข้าเท่านั้นทิศทางเชิงเส้น(เช่น การขยายแนวตั้งหรือแนวนอน)
ลักษณะเฉพาะ:
การปิดผนึกสุญญากาศโดยแทบไม่มีการรั่วซึมเป็นศูนย์
ยอดเยี่ยมทนต่ออุณหภูมิและฝุ่น
โครงสร้างเรียบง่ายและมีความน่าเชื่อถือสูง
ข้อจำกัด:
อนุญาตการเคลื่อนที่เชิงเส้นเท่านั้น; ไม่สามารถรองรับการหมุนได้
ความยาวช่วงชักมีจำกัดโดยการออกแบบเครื่องเป่าลม
3. ซีลบรรจุ / โอ- ซีลวงแหวน (ด้านสุญญากาศต่ำหรือด้านบรรยากาศ)
การใช้งานทั่วไป:
ระบบสุญญากาศหยาบหรืออุปกรณ์เชื่อมที่ไม่ต้องใช้สุญญากาศสูง
ลักษณะเฉพาะ:
ต้นทุนต่ำและเปลี่ยนง่าย
ใช้กันอย่างแพร่หลายในตำแหน่งปิดผนึกที่ไม่สำคัญ-
ข้อจำกัด:
เรื่องการสึกหรอและการสร้างอนุภาค
ไม่เหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมสุญญากาศสูง-
สามารถเพิ่มความเสี่ยงต่อการปนเปื้อนได้โดยเฉพาะในระบบที่ใช้ปั๊มกระจาย